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a. Procédé pour améliorer la commande du recuit de couches superficielles d'un corps semi-conducteur 10 par fusion de la couche superficielle à 'aide d'un faisceau à énergie rayonnante 21. b. On contrôle la réflectivité de la surface de la couche pour détecter les changements de cette surface entre ses états fondus et solide, et la quantité d'énergie rayonnante reçue par la surface est contrôlée en réponse à ces changements. c. Application au controle de la diffusion d'impuretés dans des semi-conducteurs.
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