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发明名称
摘要
申请公布号	JPS5510974(B1)	申请公布日期	1980.03.21
申请号	JP19700107428	申请日期	1970.12.04
申请人		发明人
分类号	H01L21/22;H01L21/268;H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/30;H01L21/26	主分类号	H01L21/22
代理机构		代理人
主权项
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