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发明名称 HALBLEITERVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG
摘要
申请公布号 DE2934970(A1) 申请公布日期 1980.03.20
申请号 DE19792934970 申请日期 1979.08.29
申请人 FUJITSU LTD. 发明人 KAWABE,YUNOSUKE
分类号 H01L21/32;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/763;H01L23/544;(IPC1-7):01L27/04;01L21/76 主分类号 H01L21/32
代理机构 代理人
主权项
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