| 摘要 |
La grandeur et le signe de l'angle de Hall du materiau d'une tranche semi-conductrice (13) sont mesures par une technique de couplage capacitatif et inductif qui ne necessite pas le contact physique avec la tranche (13), eliminant ainsi toute deterioration physique eventuelle de la tranche. Un signal haute frequence (rf) est appliquee a une paire concentrique d'electrodes planes circulaires (11, 12) adjacentes a la tranche (13), couplant ainsi de maniere capacitative un courant rf radial dans la tranche. Un champ magnetique applique (aimant 14) perpendiculairement a la tranche produit une composante du courant rf a cause de l'effet Hall. Ce courant circulaire rf produit un champ magnetique rf axial qui se couple avec une bobine de reception (15). Le signal de reception est amplifie (48) et detecte (49) pour produire un signal de sortie en relation avec le signe et la grandeur de l'angle de Hall du materiau de la tranche. |
