| 发明名称 |
MANUFACTURING OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5539618(A) |
申请公布日期 |
1980.03.19 |
| 申请号 |
JP19780112241 |
申请日期 |
1978.09.14 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SHIRASAWA TOSHIKATSU;KONISHI TOBUTAKE;YANAGI MITSUO;MONMA NAOHIRO;HIRAO MITSURU;OKAMURA MASAHIRO |
| 分类号 |
H01L21/322;H01L21/265;H01L29/74;H01L29/861 |
主分类号 |
H01L21/322 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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