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发明名称 PROCESS FOR MAKING A THIN-FILM STRUCTURE
摘要
申请公布号 EP0008359(A3) 申请公布日期 1980.03.19
申请号 EP19790102450 申请日期 1979.07.16
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 CHANG, KENNETH;COSMAN, DAVID CECIL;GARTNER, HELMUT MATTHEW;HOEG JR., ANTHONY JOHN
分类号 G03F7/09;H01L21/033;H01L21/306;H01L21/3213;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/00;G03F7/02;H01L21/31;H01L21/90 主分类号 G03F7/09
代理机构 代理人
主权项
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