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发明名称
METHOD OF SETTING INSPECTION REGION
摘要
申请公布号
JPS5538032(A)
申请公布日期
1980.03.17
申请号
JP19780110782
申请日期
1978.09.11
申请人
HITACHI LTD
发明人
NAGAI HARUO
分类号
H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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