发明名称 MANUFACTURING OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS5538034(A) 申请公布日期 1980.03.17
申请号 JP19780110794 申请日期 1978.09.11
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YOSHITOME SHIYOUKICHI
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L29/08 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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