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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5538084(A) 申请公布日期 1980.03.17
申请号 JP19780112075 申请日期 1978.09.11
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 YAMANAKA YOUJI
分类号 H01L21/76;H01L21/3205;H01L21/74;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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