发明名称 PRODUCTION FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5538087(A) 申请公布日期 1980.03.17
申请号 JP19780112078 申请日期 1978.09.11
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 YOSHINO TATSUO
分类号 H01L21/822;F16L9/02;H01L21/265;H01L27/04;H01L27/08;H01L29/78 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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