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发明名称 POSITIVE ELECTRONORESIST
摘要
申请公布号 SU721794(A1) 申请公布日期 1980.03.15
申请号 SU19782642899 申请日期 1978.07.10
申请人 VAJNER ALEKSANDR YA,SU;LIMANOVA VALENTINA F,SU;DYUMAEV KIRILL M,SU;BYSTROVA NADEZHDA M,SU;ERLIKH ROALD D,SU 发明人 VAJNER ALEKSANDR YA,SU;LIMANOVA VALENTINA F,SU;DYUMAEV KIRILL M,SU;BYSTROVA NADEZHDA M,SU;ERLIKH ROALD D,SU
分类号 (IPC1-7):G03C1/68 主分类号 (IPC1-7):G03C1/68
代理机构 代理人
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