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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5536913(A) 申请公布日期 1980.03.14
申请号 JP19780107623 申请日期 1978.09.04
申请人 HITACHI LTD 发明人 MOCHIZUKI YASUHIRO;WAKUI TAKAYUKI;YASUDA YASUMICHI;YATSUNO KOUMEI
分类号 H01L21/225;H01L21/22 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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