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发明名称
PHOTORESIST APPLICATOR
摘要
申请公布号
JPS5536923(A)
申请公布日期
1980.03.14
申请号
JP19780108350
申请日期
1978.09.04
申请人
NIPPON ELECTRIC CO
发明人
MIZUNO OSAMU;NAKAMAE MASAHIKO
分类号
B05C11/08;H01L21/027;H01L21/302
主分类号
B05C11/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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