| 发明名称 |
MANUFACTURING OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5536908(A) |
申请公布日期 |
1980.03.14 |
| 申请号 |
JP19780107592 |
申请日期 |
1978.09.04 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
FURUKAWA AKIHIKO;TAGUCHI MINORU;SASAKI HAJIME |
| 分类号 |
H01L21/8226;H01L21/306;H01L21/76;H01L27/082 |
主分类号 |
H01L21/8226 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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