发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM FOTOELEKTRISCHEN POSITIONIEREN EINES GEGENSTANDES UNTER VERWENDUNG EINER REGISTERMARKE
摘要
申请公布号 DE2934454(A1) 申请公布日期 1980.03.13
申请号 DE19792934454 申请日期 1979.08.25
申请人 DAINIPPON SCREEN SEIZO K.K. 发明人 MASUDA,TATSUNOSUKE
分类号 G01B11/00;G03F9/00;G05D3/16;(IPC1-7):G05D3/00 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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