VERFAHREN ZUM NIEDERSCHLAGEN VON SILICIUMDIOXIDFILMEN,申请号DE19661521397-传众专利搜索

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发明名称	VERFAHREN ZUM NIEDERSCHLAGEN VON SILICIUMDIOXIDFILMEN
摘要
申请公布号	DE1521397(B2)	申请公布日期	1972.09.14
申请号	DE19661521397	申请日期	1966.12.28
申请人		发明人
分类号	C23C16/40;H01L21/316;(IPC1-7):C23C11/08	主分类号	C23C16/40
代理机构		代理人
主权项
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