| 发明名称 |
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR REGELUNG DER VERDAMPFUNGSRATE OXIDIERBARER STOFFE BEIM REAKTIVEN VAKUUMAUFDAMPFEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE2834813(A1) |
申请公布日期 |
1980.03.13 |
| 申请号 |
DE19782834813 |
申请日期 |
1978.08.09 |
| 申请人 |
LEYBOLD-HERAEUS GMBH |
发明人 |
ZUELTZKE,WALTER;HEIMBACH,KLAUS-JUERGEN |
| 分类号 |
C23C14/00;(IPC1-7):C23C13/04;C03C17/22;C23C11/08;C23C13/08 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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