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经营范围
发明名称
PLASMA-AETZVORRICHTUNG
摘要
申请公布号
DE2933850(A1)
申请公布日期
1980.03.13
申请号
DE19792933850
申请日期
1979.08.21
申请人
HITACHI,LTD.
发明人
IKEDA,KIYOZI;HAYASHIDA,TETSUO
分类号
C23F4/00;H01J37/32;(IPC1-7):B23P1/06
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
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