发明名称 CORPUSCULAR BEAM APPARATUS
摘要
申请公布号 GB1562406(A) 申请公布日期 1980.03.12
申请号 GB19760035278 申请日期 1976.08.25
申请人 SIEMENS AG 发明人
分类号 H01J37/09;(IPC1-7):H01J1/48 主分类号 H01J37/09
代理机构 代理人
主权项
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