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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5534495(A) 申请公布日期 1980.03.11
申请号 JP19790108264 申请日期 1979.08.27
申请人 PHILIPS NV 发明人 HANNO SHIYAUMUBURUKU
分类号 H01L21/66;H01L21/265;H01L21/324 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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