发明名称 DETECTOR FOR NOOGOOD MARK OF SEMICONDUCTOR PELLET
摘要
申请公布号 JPS5534481(A) 申请公布日期 1980.03.11
申请号 JP19780107794 申请日期 1978.09.01
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 IGARASHI KENICHI;NAKAYAMA HIDESUKE
分类号 H01L21/66;H01L21/50 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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