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发明名称 PREPARATION OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE WITH EPITAXIAL LAYER
摘要
申请公布号 JPS5534454(A) 申请公布日期 1980.03.11
申请号 JP19780107045 申请日期 1978.08.31
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 KOMATSU YUUJI
分类号 C30B25/18;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/761 主分类号 C30B25/18
代理机构 代理人
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