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发明名称 ROTARY TRANSFER APPARATUS FOR MATERIAL TO BE TREATED
摘要
申请公布号 JPS5531793(A) 申请公布日期 1980.03.06
申请号 JP19790088390 申请日期 1979.07.13
申请人 IBM 发明人 JIERARUDO ARAN GEETSU
分类号 B25J15/06;B65G47/91;B65G61/00;H01L21/67;H01L21/677 主分类号 B25J15/06
代理机构 代理人
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