| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON POLYKRISTALLINEM SILIZIUM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE2919086(A1) |
申请公布日期 |
1980.03.06 |
| 申请号 |
DE19792919086 |
申请日期 |
1979.05.11 |
| 申请人 |
J.C.SCHUMACHER CO. |
发明人 |
M. WOERNER,LLOYD;B. MOORE,EDWARD |
| 分类号 |
C01B33/02;C01B33/03;H01L21/205;H01L21/208;(IPC1-7):C01B33/02;B01J17/26 |
主分类号 |
C01B33/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
