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经营范围
发明名称
PRODUCING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5530807(A)
申请公布日期
1980.03.04
申请号
JP19780102721
申请日期
1978.08.25
申请人
HITACHI LTD
发明人
MORI TAKAAKI;NAKAMURA SHIYUUICHI;NITSUTA TAKEHISA;KONDOU HIROYUKI
分类号
H01L21/76;H01L21/316
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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