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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5530826(A) 申请公布日期 1980.03.04
申请号 JP19780103541 申请日期 1978.08.24
申请人 KYUSHU NIPPON ELECTRIC 发明人 TANAKA MASATO
分类号 H01L21/308;H01L21/302 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
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