| 发明名称 |
MANUFACTURING OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5529133(A) |
申请公布日期 |
1980.03.01 |
| 申请号 |
JP19780101947 |
申请日期 |
1978.08.22 |
| 申请人 |
SEIKO INSTR & ELECTRONICS |
发明人 |
ENDOU SHIGEKAZU |
| 分类号 |
H01L21/265;H01L21/8247;H01L29/06;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792 |
主分类号 |
H01L21/265 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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