发明名称 SPECIMEN DEVICE FOR SCANNING ELECTRON MICROSCOPE OR THE LIKE
摘要
申请公布号 JPS5528231(A) 申请公布日期 1980.02.28
申请号 JP19780100473 申请日期 1978.08.18
申请人 NIPPON ELECTRON OPTICS LAB 发明人 TAGATA SHIYOUJIROU
分类号 H01J37/20 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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