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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5527661(A) 申请公布日期 1980.02.27
申请号 JP19780101085 申请日期 1978.08.18
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TSUJI KAZUHIKO
分类号 H01L21/3213;H01L21/28 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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