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发明名称 OXIDE FILM ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPS5527625(A) 申请公布日期 1980.02.27
申请号 JP19780100590 申请日期 1978.08.17
申请人 SHARP KK 发明人 TAKENAKA TAKUO;HAYASHI HIROSHI;MURATA KAZUHISA;YANO MORICHIKA
分类号 H01L21/308;H01L21/302 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
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