发明名称 MULTIILAYER WIRING TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5527644(A) 申请公布日期 1980.02.27
申请号 JP19780100746 申请日期 1978.08.17
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 NAKAMURA MASARU
分类号 H01L21/768;H01L21/31;H01L21/316;H01L23/522 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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