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发明名称
摘要
申请公布号
JPS557696(B2)
申请公布日期
1980.02.27
申请号
JP19740108564
申请日期
1974.09.20
申请人
发明人
分类号
H01L21/316;H01L21/314;H01L29/74
主分类号
H01L21/316
代理机构
代理人
主权项
地址
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