| 发明名称 |
MANUFACTURING OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5526657(A) |
申请公布日期 |
1980.02.26 |
| 申请号 |
JP19780099481 |
申请日期 |
1978.08.17 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
SUZUKI NOBUO;SATOU SHIGERU;HARADA NOZOMI |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/22;H01L29/08 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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