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经营范围
发明名称
BONDING METHOD
摘要
申请公布号
JPS5526696(A)
申请公布日期
1980.02.26
申请号
JP19790096136
申请日期
1979.07.30
申请人
HITACHI LTD
发明人
ARAI FUMIO
分类号
H01L21/68;H01L21/52;H01L21/58;H01L21/60
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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