发明名称 PELLET BONDING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5526697(A) 申请公布日期 1980.02.26
申请号 JP19790096137 申请日期 1979.07.30
申请人 HITACHI LTD 发明人 ARAI FUMIO
分类号 H01L21/68;H01L21/52;H01L21/58 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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