发明名称
摘要
申请公布号 JPS5529579(U) 申请公布日期 1980.02.26
申请号 JP19780113437U 申请日期 1978.08.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/822;H01L21/331;H01L27/04;H01L29/72;H01L29/73;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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