发明名称 MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5526687(A) 申请公布日期 1980.02.26
申请号 JP19780100315 申请日期 1978.08.16
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 KIMURA KIMIYOSHI;TAKABAYASHI SEIICHIROU
分类号 H01L21/768;H01L21/302 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
地址