| 发明名称 |
VERFAHREN ZUM AETZEN VON METALLFILMEN MIT EINEM GASPLASMA |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE2930200(A1) |
申请公布日期 |
1980.02.21 |
| 申请号 |
DE19792930200 |
申请日期 |
1979.07.25 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INC. |
发明人 |
R. REINBERG,ALAN;R. PORTER,VERNON |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):C23C15/00;H01L21/28 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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