| 发明名称 |
METHOD OF SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR CHIP |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5522818(A) |
申请公布日期 |
1980.02.18 |
| 申请号 |
JP19780094614 |
申请日期 |
1978.08.04 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TAKAHASHI MINORU;INUI TOMOTSUGU;TANIGAMI TAKAHIKO;MINORIKAWA HITOSHI;UCHIYAMA KAORU;NISHIHARA MOTOHISA;YATSUNO KOUMEI;KAWAKAMI HIROJI;SUZUKI KIYOMITSU;MITANI MASAO |
| 分类号 |
G01L9/04;G01L9/00;H01L29/84 |
主分类号 |
G01L9/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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