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发明名称 SEPARATION METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5522866(A) 申请公布日期 1980.02.18
申请号 JP19780096454 申请日期 1978.08.07
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 MORIKAWA HIROSHI
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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