| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND ITS MANUFACTURING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5522893(A) |
申请公布日期 |
1980.02.18 |
| 申请号 |
JP19790092675 |
申请日期 |
1979.07.23 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
IWAMATSU SEIICHI;HORIE NOBORU |
| 分类号 |
H01L27/082;H01L21/331;H01L21/8226;H01L27/08;H01L29/73 |
主分类号 |
H01L27/082 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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