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发明名称 SEMICONCONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE BY USE OF ITS APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS5522832(A) 申请公布日期 1980.02.18
申请号 JP19780095332 申请日期 1978.08.03
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OGURA MOTOTSUGU
分类号 H01L21/677;H01L21/324 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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