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发明名称 AN IMPROVED PROCESS FOR THE PRODUCTION OF HIGH RESISTIVITY AMORPHOUS HYDROGENATED SILICON FILMS
摘要
申请公布号 IN165530(B) 申请公布日期 1989.11.04
申请号 IN1124DE1985 申请日期 1985.12.31
申请人 COUNCIL OF SCIENTIFIC AND INDUSTRIAL RESEARCH 发明人 DIXIT, PRAKASH NARAIN;BHATTACHARYYA, RAGHUNATH;PANWAR, OMVIR SINGH;SHAH VILASCHANDRA VITHALDAS
分类号 H01F10/12;(IPC1-7):H01F10/12 主分类号 H01F10/12
代理机构 代理人
主权项
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