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发明名称 WAFER CONTINUOUSLY PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS5521119(A) 申请公布日期 1980.02.15
申请号 JP19780093592 申请日期 1978.08.02
申请人 HITACHI LTD 发明人 NAGATOMO HIROTO;TAKAGAKI TETSUYA;SEKI HISAO;TERASAKI SHIROU;HORIMUKI HITOSHI
分类号 H01L21/306;H01L21/302 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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