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发明名称
ARTICLE PRODUCTION BY PLASMA ETCHING
摘要
申请公布号
JPS5521596(A)
申请公布日期
1980.02.15
申请号
JP19790096880
申请日期
1979.07.31
申请人
WESTERN ELECTRIC CO
发明人
SHIRIRU JIYOSEFU MOGABU
分类号
H01L21/302;C23F4/00;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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