发明名称 ARTICLE PRODUCTION BY PLASMA ETCHING
摘要
申请公布号 JPS5521596(A) 申请公布日期 1980.02.15
申请号 JP19790096880 申请日期 1979.07.31
申请人 WESTERN ELECTRIC CO 发明人 SHIRIRU JIYOSEFU MOGABU
分类号 H01L21/302;C23F4/00;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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