发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5519801(A) 申请公布日期 1980.02.12
申请号 JP19780091411 申请日期 1978.07.28
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 OGATA AKINORI
分类号 H01L21/52;H01L21/58 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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