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发明名称 PLASMA ETCHING METHOD OF ALUMINIUM ARTICLE
摘要
申请公布号 JPS5518399(A) 申请公布日期 1980.02.08
申请号 JP19790095549 申请日期 1979.07.26
申请人 EATON CORP 发明人 JIYON ZAJIYATSUKU
分类号 C09K13/00;C23F4/00;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213 主分类号 C09K13/00
代理机构 代理人
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