发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 JPS5518001(A) 申请公布日期 1980.02.07
申请号 JP19780089907 申请日期 1978.07.25
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 SATOU KAZUO
分类号 H01L21/3205 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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