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发明名称
VACUUM DETECTOR
摘要
申请公布号
JPS5517609(A)
申请公布日期
1980.02.07
申请号
JP19780088456
申请日期
1978.07.21
申请人
HITACHI LTD
发明人
MIKI KEIJI;INOUE TADASHI
分类号
G01L23/24;F02M35/10;G01L7/00
主分类号
G01L23/24
代理机构
代理人
主权项
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