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发明名称 METHOD OF ETCHING SILICON OXIDE THIN FILM
摘要
申请公布号 JPS5518062(A) 申请公布日期 1980.02.07
申请号 JP19780091243 申请日期 1978.07.26
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TODA JIYUNZOU;HATA KUNIO;KUME TOMIO;TAKAHASHI YOSHIO
分类号 H01L21/306;H01L21/302 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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